В 19658-81

• gost-19658-81.pdf (1.20 MiB)
  ГОСТ 19658-81

В 19658−81 монокристален Силиций в кюлчета. Технически условия (с Промените, N 1, 2)

В 19658−81
Група В51

INTERSTATE СТАНДАРТ

МОНОКРИСТАЛЕН СИЛИЦИЙ В КЮЛЧЕТА

Технически условия

Monocrystalline silicon in ingots. Specifications

BCR 17 7213

Дата на въвеждане 1983−01−01

ИНФОРМАЦИОННИ ДАННИ

1. РАЗРАБОТЕНА И ВЪВЕДЕНА от Министерството на цветната металургия на СССР

РАЗРАБОТЧИЦИТЕ

V. S. Матвеев, канд. техн. науките; А. Г. Галканов; М. Б. Рейфман, канд. chem. науките; Li Si Власов; R. I. Генкина; И. П. Кагановский, канд. техн. науките; Л. В. Куликова; Л. В. Подложка, канд. техн. науките; В. И. Марков; A. I. Попов; Н. Н. Николов, канд. техн. науки; Б. М. Туровский, д-р техн. науки

2. ОДОБРЕНИ И ВЪВЕДЕНИ В ДЕЙСТВИЕ на Постановление на Държавния комитет на СССР по стандартите от 27.02.81 N 1090

3. В ЗАМЯНА ГОСТ 19658–74

4. РЕФЕРЕНТНИТЕ РЕГУЛАТОРНИ И ТЕХНИЧЕСКИ ДОКУМЕНТИ

Наименование NTD, в който дадена връзка	Номер на изделието, приложения
В 2.004−88	1.1
В чл. 61−75	Приложение 7, 8а, 9
В 334−73	Приложение 8
В 427−75	Приложение 1
В 701−89	Приложение 4, 8, 8а, 9
В 1367.0−83	Приложение 9
В 1770−74	Приложение 9
В 2263−79	Приложение 6
В 2548−77	Приложения 1, 4, 9
В 2567−89	Приложение 4, 9
В 2789−73	Приложение 3
В 2874−82	Приложения 8, 9
В 3647−80	Приложения 3, 6, 7, 8, 8а
В 3776−78	Приложение 4, 9
В 4160−74	Приложение 7, 8а
В 4220−75	Приложение 4
В 4461−77	Приложение 4, 7, 9
В 5017−74	Приложение 8
В 5959−80	4.5
В 5962−67	Приложение 3, 8
В 9206−80	Приложения 3, 4, 6, 7, 8, 8а, 9
В 9285−78	Приложение 6
В 9412−93	Приложение 3, 8
В 9696−82	Приложения 5, 7, 8а
В 10197−70	Приложение 5
В 10354−82	4.1
В 10484−78	Приложения 1, 4, 7, 8а, 9
В 11069−74	Приложение 8
В 11078−78	Приложение 6
В 11109−90	Приложение 5, 8
В 11125−84	Приложение 4, 8а, 9
В 12026−76	Приложения 3, 4, 5, 8, 9
В 12997−84	Приложение 7, 8а
В 14192−96	4.6
В 17299−78	Приложение 7, 8а
В 18270−72	Приложение 9
В 18300−87	Приложение 3, 7, 8, 8а
В 20477−86	4.2, 4.3
В 24392−80	Приложение 4
В 25593−83	Приложение 7, 8а
В 26239.1−84	3.8 б
В 29298−92	Приложение 3, 7, 8а, 8, 9
В 29329−92	Приложение 4, 9
ТУ 6−09−3401−70	Приложение 9
ТУ 6−09−4015−78	Приложения 1, 9
ТУ 25−10 (АМЦ.778.019)-84	Приложение 3
ТУ 25−10 (АМЦ.778.020)-84	Приложение 3

5. Ограничение на срока на валидност, заснети с Постановление на Госстандарта от 12.05.92 N 480

6. ИЗДАНИЕ с Промените, N 1, 2, одобрени в юли 1987 г., май 1992 г. (ИУС 11−87, 8−92)


Този стандарт се отнася за ценни монокристални силициеви, получени по метода на Чохральского и предназначени за производство на табели-подложки, използвани в производството на эпитаксиальных структури и структури метал — диэлектрик — полупроводници.

Поносите, Изъм. (2).

1. ТЕХНИЧЕСКИ ИЗИСКВАНИЯ

1.1. Кюлчета монокристални силициеви произведени в съответствие с изискванията на настоящия стандарт дырочного тип проводимост (Д), легирана бор (B), и електронен тип проводимост (Oe), легирана фосфор (Ф) или сурьмой ©, бездислокационные (с плътност размествания не повече от 1·10см) за технологична документация.

1.10. По искане на потребителите кюлчета силиций, легирани фосфор или бор, с относително електрическо съпротивление 0,3 Ома·см и повече трябва да бъдат произведени без свирлевых дефекти (индекс «в») — за блокове с ориентация (100) и (013) и (индекс «в») — за блокове с ориентация (111).

Плътност микродефектов, выявляемых офорт, не трябва да бъде повече от 2·10смза блокове с ориентация (100) и (013) индекс «е» и не повече от 3·10см — за блокове с ориентация (111) (пощенски код «»

).

1.11. Кристаллографическая насочване на самолета торцевого на парче, на ъгъла на отклонение на самолета торцевого изсечени от зададената кристаллографической равнина, липсата на външни дефекти, концентрацията на оптически активни атоми кислород и въглерод, концентрацията на атоми микропримесей желязо, злато и мед, плътност размествания, време на живот на равновесие превозвач (на слитъци, без индекси «d» и «p») и липсата на свирлевых дефекти на слитъци с индекс «а » се осигурява от технологията на производство.

Условно обозначение на кюлчета монокристални силициеви трябва да съдържа: марката, силиций, класиран на стойността на дела електрическо съпротивление, група, подклас на диаметъра на кюлчета, кристаллографическую ориентация на самолета торцевого нарязания на монокристални кюлчета, индекси и обозначение на настоящия стандарт. Липсата на индекса «м» или «ъ» означава кристаллографическую ориентация на самолета торцевого изсечени блок (111).

Примери за условно означаване на:

Силиций марка ЭКДБ с номинална стойност на дела електрическо съпротивление на 2 Ома·см, група 1, под-група а, калибриран с толеранс от 0,5 мм, с кристаллографической ориентация на самолета торцевого нарязания на монокристални блок (111)

ЭКДБ-2−1акВ 19658−81

Силиций марка ЭКЭФ с номинална стойност на дела електрическо съпротивление 10 Ома·см, група 6, подгрупа б, калибриран с толерантността на 0,1 мм с кристаллографической ориентация на самолета торцевого нарязания на монокристални блок (100), без дефекти свирлевых

ЭКЭФ-20−6ж.кмсИ 19658−81.

1.8.-1.11. Поносите, Изъм. N 1).

1.12. Кодове на BCR са изброени в приложение 1а.

(Въведени допълнително, Изъм. N 1).

2. ПРАВИЛА ЗА ПРИЕМАНЕ

2.1. Всеки блок силиций, подложени на контрол, определяне на типа на проводимост, притискане на електрическо съпротивление, диаметър, дължина и маса.

Контрол предвидени в технологията на производство на параметрите трябва да се извършва периодично, не по-рядко от един път на шест месеца за едно кюлче силиций.

2.2. Всеки блок монокристални силициеви придружават от документ за качество, в който се посочват:

търговска марка или наименование и търговска марка на предприятието-производител;

наименование на продукта и неговата марка;

номер на кюлчета;

тип на проводимост;

средна стойност на дела електрическо съпротивление на всеки край;

стойност на относителното отклонение от средните стойности на дела електрическо съпротивление торцов кюлчета от номиналната стойност;

размер радиального на относителното отклонение на дела електрическо съпротивление от средната стойност за торцу на кюлчета;

време на живот на равновесие превозвач (за блокове с индекс «д» и «р»);

дължината и диаметърът на кюлчета, mm;

маса нето, г;

датата на производство;

4.3. Допуска друг вид опаковка: лента на силиций в заваренном найлонова торбичка, увити в еластичен полиуретанов дунапрен или в друга мека опаковка и вързан внахлестку с пластмасова лента с лепкав слой И 20477 или друга панделка от подобен тип. Опаковани по този начин лента се поставя в найлонов плик, в който се инвестират от една страна на етикета, от друга — документ за качество, след което пакетът се запарва.

Поносите, Изъм. N 1, 2).

4.4. Върху кутията наклеивают етикет с посочване на:

наименование или търговската марка на предприятието-производител;

наименование на продукта;

на марката;

номера на документа за качеството;

място на кюлчета;

дължина и диаметър на кюлчета, mm;

тегло нето, г;

дата на производство;

имената и номерата на опаковчик;

обозначаване на настоящия стандарт.

Поносите, Изъм. (2).

4.5. Кюлчета силиций, опаковани в съответствие с изискванията на чл.4.1−4.3, поставени в други или фурнировани чекмеджета И 5959.

Във всяка кутия трябва да бъде вложен опаковъчен лист с посочване на:

наименование и търговска марка на предприятието-производител;

тегло нето в килограми;

наименование на продукта;

брой на блокове в кутия;

датата на опаковане;

имената и номерата на опаковчик.

Допуска се посочване на упаковочном лист допълнителни данни.

Допуска опаковка кюлчета в многооборотную контейнер, изготовляемую по административно-техническа документация.

Поносите, Изъм. N 1, 2).

4.6. Маркиране кутии — в 14192 с прилагането на предупредителни признаци:

«Деликатен. Внимателно»;

«Да се пази от влага»;

«Отгоре».

4.7. Транспортирование кюлчета силиций се извършва всички видове транспорт в закрити транспортни средства в съответствие с правилата за транспорт на товари, действащи за този вид транспорт.

Допуска транспортиране на кюлчета силиций и пощенски пакети. При транспортирането на пощенски пакети предупредителните знаци не се прилага.

Поносите, Изъм. N 1).

4.8. Кюлчета силиций трябва да се съхранява в опаковката на производителя в затворени складови помещения.

5. ГАРАНЦИЯТА НА ПРОИЗВОДИТЕЛЯ

5.1. Производител гарантира съответствие на кюлчета силиций изискванията на настоящата наредба и при спазване на условията им за съхранение в опаковката на производителя.

5.2. Гаранция на продукта — 1 година от датата на производство.

Поносите, Изъм. N 1).

ПРИЛОЖЕНИЕ 1a (задължително)

ПРИЛОЖЕНИЕ 1a
Задължително

Марка	Код на BCR
ЭКДБ 1а	17 7213 0111 06
ЭКДБ 1б	17 7213 0112 05
ЭКДБ 1б	17 7213 0113 04
ЭКДБ 1г	17 7213 0114 03
ЭКДБ 1д	17 7213 0115 02
ЭКДБ 2а	17 7213 0121 04
ЭКДБ 2б	17 7213 0122 03
ЭКДБ 2v	17 7213 0123 02
ЭКДБ 2г	17 7213 0124 01
ЭКДБ 2д	17 7213 0125 00
ЭКДБ 3а	17 7213 0131 02
ЭКДБ 3б	17 7213 0132 01
ЭКДБ 3v	17 7213 0133 00
ЭКДБ 3г	17 7213 10 0134
ЭКДБ 3d	17 7213 0135 09
ЭКДБ 4а	17 7213 0141 00
ЭКДБ 4d	17 7213 10 0142
ЭКДБ 4v	17 7213 0143 09
ЭКДБ 4гр	17 7213 0144 08
ЭКДБ 4д	17 7213 0145 07
ЭКДБ 5a	17 7213 0151 09
ЭКДБ 5d	17 7213 0152 08
ЭКДБ 5v	17 7213 0153 07
ЭКДБ 5g	17 7213 0154 06
ЭКДБ 5д	17 7213 0155 05
ЭКДБ 6a	17 7213 0161 07
ЭКДБ 6б	17 7213 0162 06
ЭКДБ 6v	17 7213 0163 05
ЭКДБ 6г	17 7213 0164 04
ЭКДБ 6д	17 7213 0165 03
ЭКДБ 7а	17 7213 0171 05
ЭКДБ 7b	17 7213 0172 04
ЭКДБ 7в	17 7213 0173 03
ЭКДБ мигновени пакети от 7 грама	17 7213 0174 02
ЭКДБ 8а	17 7213 0181 03
ЭКДБ 8б	17 7213 0182 02
ЭКДБ 8в	17 7213 0183 01
ЭКДБ 8г	17 7213 0184 00
ЭКЭС 11а	17 7213 0211 03
ЭКЭС 11б	17 7213 0212 02
ЭКЭС 11в	17 7213 0213 01
ЭКЭС 12а	17 7213 0221 01
ЭКЭС 12б	17 7213 0222 00
ЭКЭФ 21а	17 7213 0311 00
ЭКЭФ 21б	17 7213 10 0312
ЭКЭФ 21в	17 7213 0313 09
ЭКЭФ 21г	17 7213 0314 08
ЭКЭФ 21д	17 7213 0315 07
ЭКЭФ 22а	17 7213 0321 09
ЭКЭФ 22б	17 7213 0322 08
ЭКЭФ 22в	17 7213 0323 07
ЭКЭФ 22г	17 7213 0324 06
ЭКЭФ 22д	17 7213 0325 05
ЭКЭФ 23а	17 7213 0331 07
ЭКЭФ 23б	17 7213 0332 06
ЭКЭФ 23в	17 7213 0333 05
ЭКЭФ 23г	17 7213 0334 04
ЭКЭФ 23д	17 7213 0335 03
ЭКЭФ 24а	17 7213 0341 05
ЭКЭФ 24б	17 7213 0342 04
ЭКЭФ 24v	17 7213 0343 03
ЭКЭФ 24г	17 7213 0344 02
ЭКЭФ 24д	17 7213 0345 01
ЭКЭФ 25а	17 7213 0351 03
ЭКЭФ 25б	17 7213 0352 02
ЭКЭФ 25в	17 7213 0353 01
ЭКЭФ 25гр	17 7213 0354 00
ЭКЭФ 25д	17 7213 10 0355
ЭКЭФ 26a	17 7213 0361 01
ЭКЭФ 26б	17 7213 0362 00
ЭКЭФ 26в	17 7213 0363 10
ЭКЭФ 26г	17 7213 0364 09
ЭКЭФ 26д	17 7213 0365 08

ПРИЛОЖЕНИЕ 1a. (Въведени допълнително, Изъм. N 1).

ПРИЛОЖЕНИЕ 1 (обвързваща). ОПРЕДЕЛЕНИЕ МОНОКРИСТАЛЛИЧНОСТИ И ЛИПСА НА ВЪНШНИ ДЕФЕКТИ ПО ПОВЪРХНОСТТА НА КЮЛЧЕТА СИЛИЦИЙ

ПРИЛОЖЕНИЕ 1
Задължително

Техниката е предназначена за качествен контрол визуален оглед на цялата повърхност на блокове силиций електронното и дырочного видове проводимост с различно относително електрическо съпротивление с кристаллографической ориентация (111), (100) и (013).

Техника позволява да се контролира наличието на макроскопични дефекти структура, в нарушение на монокристалличность блок (граници на зърна и двойникования, двойниковых ламели), както и външни дефекти (макроскопични мивки, плочки и пукнатини).

Техниката се основава на визуална проверка на цялата повърхност на блок, в резултат на което се разкриват наличието на макроскопични дефекти, структура и външни дефекти.

Контрол на изброените дефекти се извършва при стандартен несфокусированном светлина.

Цялата естествена или механично обработени повърхността на кюлчета обследуют визуално непосредствено след тяхното отглеждане или след химическо ецване. Ецване се извършва в смес фтористо-водород киселина (HF) и воден разтвор на хром анхидрид (CrO250−500 г/дм), взети в отношение 1:(2−4) обемни части.

За контрол на наличието на мивки, плочки и пукнатини със специално гравиран не се извършва.

1. Изпитване и материали

Бюро с лампа с нажежаема жичка с мощност, не по-малко от 40 Вата.

Гама метални И 427.

Киселина фтористоводородная os.ч. по ТАЗИ 6−09−4015, селскостопанска чаена; ч; чаена ад а. в 10484.

Ангидрид хромовый чаена ад а. на научно-техническата документация, технически И 2548.

2. Провеждане на контрол

2.1. Контрол на наличието на макроскопични мивки, чипове, пукнатини, граници на зърна, граници двойникования и двойниковых ламели се извършва визуално.

2.2. Наличието на граници на зърна страничната повърхност, а също и на края след механична обработка на ценни метали разкриват за промяна на светлината, отражаемого контролирана повърхността при прехода на нейните разпоредби относно източника на светлина.

След химическо ецване на границата на зърната на запис под формата на ясно различими произволно ориентирани ленти ецване (по дяволите.1).

По дяволите.1. На границата на зърната на кюлчета силиций след химическо ецване

На границата на зърната на кюлчета силиций след химическо ецване
а на страничната повърхност	б на предната повърхност
По дяволите.1

2.3. Наличието на граници двойникования на страничната повърхност на кюлчета и на края (по дяволите.2) да се определят по изменение на отражение на светлината области, разделени от граници двойникования; на повърхности след химическо ецване — според наличието на ясно различимой ленти офорт, която обикновено излиза на страничната повърхност, или завършва с друг дефект.

По дяволите.2. Границата двойникования в монокристаллических кюлчета силиций

1.4.3. С отклонение на стрелката на нула-индикатора определят типа проводимост. Отклонение на стрелката на нула-индикатор трябва да надвишава пълната скала на уреда е 30%. За изпълнение на определени изисквания се допуска увеличаване на разликата в температурата между сондата и слитком.

2. Определянето на типа на проводимост метод точка за контакт на изправяне

2.1. Същност на метода

Выпрямляющие свойства на контакт метал-полупроводниково се определят от вида на носители на заряд в полупроводници. Методът се основава на качествено сравнение на съпротива точка на контакт метал-полупроводниково при различни полярностях приложна напрежение. Тип на проводимост определят с отклонение на стрелката на чувствителни на виновните нула на индикатора или по вид вольтамперной характеристиките, получени на осцилоскоп.

Схема за определяне на типа на проводимост метод точка за контакт на изправяне с прилагането на нула-индикатор и oscillo б предоставил на по дяволите.2.

По дяволите.2. Схема за определяне на типа на проводимост метод точка за контакт на изправяне

1 — точков контакт (сонда); 2 — блок; 3 — омический контакт; 4 — автотрансформатор; 5 — нула-индикатор;
6 — tap за хоризонтални пластинам oscillo; 7 — tap към вертикални пластинам oscillo;
8 — регулировочное съпротива

По дяволите.2

В зависимост от дела на съпротива проба и чувствителност oscillo стойността на съпротивлението може да бъде различна, но трябва да осигури пълна сканира oscillo по вертикалната ос.

2.2. Изисквания към често използваните средства за измерване

2.2.1. Сондата се приготвя от вольфрамовой или стоманена тел. Вторият контакт служи метална плоча, мед или олово. Омический свържете се да нанесете върху повърхността на пробата за контакт сплав (например, с помощта на алюмогаллиевого молив или индий-галлиевой паста).

2.2.2. Като индикатор се използват гальванометры с чувствителност не по-малко от 4·10А/задачи (например, тип М-195/2 или М-195/3); за наблюдение вольтамперных характеристики използват осцилоскопи тип C1−5, C1−19, C1−48 или подобни на тях. Допуска се прилагат инсталация видове ОСИГУРИТЕЛНИ 101, TP-201.

Поносите, Изъм. N 1).

2.3. Подготовка на кюлчета

Повърхността на блокове не трябва да има видими с невъоръжено око следи от окисляване или цветове побежалости. Измерване на допуска на повърхността, получена в резултат на рязане на твърд инструмент или обработка на абразивни материали. На кюлчета с относително електрическо съпротивление над 200 Ома·см нанасят омический контакт.

2.4. Определянето на типа на проводимост

2.4.1. Определянето на типа на проводимост се извършва при температура (23±2) °C.

2.4.2. При измерения блок включват в измерительную схема (по дяволите.2).

2.4.3. Прижимом сонда до повърхността на кюлчета опитват отклонение на стрелката на нула-показател или появата на осцилоскоп вольтамперной характеристики на вида, показан на по дяволите.3, което показва наличието на верига выпрямляющего контакт.

По дяволите.3

По дяволите.3

Тип на проводимост се определя в съответствие с черти.2, 3.

Отклонение на стрелката на нула-индикатор трябва да бъде повече от 30% от пълната скала на уреда.

Техника не въвежда количествени характеристики.

Характерен огъване на криви (по дяволите.3) не трябва да се разглежда от количествена гледна точка.

2.4.4. При използването на метода на точка за контакт на изправяне с прилагането на oscillo не може да се определи тип на проводимост на изображението характеристики на изправяне, ако е характеристика не е огъване или извита два пъти.

Подобни ефекти могат да се появят, заради наличието на --преходи в материала.

3. Изисквания за квалификация на оператора

Квалификация на оператора трябва да отговаря на изискванията на зададено измерване на електрически параметри на полупроводникови материали от второ или по-високо освобождаване от отговорност в съответствие с действащото тарифно-отговарящи на вашия.

4. Изисквания за техника на безопасност

4.1. Устройството и техническата експлоатация на използвания электроизмерительного оборудване трябва да отговарят на изискванията на «Правилник за техническа експлоатация на електрически режим защита на потребителите и правилата за техника на безопасност при експлоатация на електроинсталации на потребителите», одобрени Госэлектронадзором.

По силата на электробезопасности на електрически инсталации, използвани за измерване тип проводимост, се отнасят до электроустановкам напрежение до 1000 V.

5. Условия

Тип на проводимост е качествена характеристика на полупроводникови материали. В зависимост от характера на преобладаващата примеси (донорная или акцепторная) за полупроводници могат да се насладят на електронна (тип) или дупка (тип) электропроводностью. Тип на проводимост определя характера на основните носители на заряд в полупроводници.

ПРИЛОЖЕНИЕ 3 (задължително). ИЗМЕРВАНЕ НА СЪПРОТИВЛЕНИЕ ЕЛЕКТРИЧЕСКО СЪПРОТИВЛЕНИЕ ЧЕТЫРЕХЗОНДОВЫМ МЕТОД

ПРИЛОЖЕНИЕ 3
Задължително

Техниката е предназначена за измерване на съпротивление електрическо съпротивление на предната повърхност монокристаллических кюлчета силиций от 1·от 10до 1·10Ома·см.

1. Същност на метода

Методът се основава на изчисляването на дела електрическо съпротивление за измерване на потенциални разлики в две точки, разположени върху плоска повърхност на кюлчета, при пропускании две точка на контакт, разположени на една и съща повърхност, електрически ток определена стойност.

2. Апарати, средства за измерване и материали

Блок-схема на инсталацията за измерване на съпротивление електрическо съпротивление, моля прочетете черти.1. Съпротивление на изолация, монтаж и всички инсталационни тела не трябва да бъде под необходимото въвеждане на повърхността на колориметъра.

По дяволите.1. Блок-схема на инсталацията за измерване на съпротивление електрическо съпротивление

Блок-схема на инсталацията за измерване на съпротивление електрическо съпротивление

1 — четырехзондовая за глава; 2 — източник на постоянен ток с променлива полярност;
3 — устройство за измерване на напрежение; 4 — блок

По дяволите.1

Инсталацията трябва да бъде аттестована на стандартни образци на дела електрическо съпротивление, регистриран в националния регистър на мерки и измервателни уреди, допустимата стойност на сумарната грешка от не повече от 5% от измерената стойност.

2.1. Изисквания към често използваните средства за измерване

2.1.1. За четырехзондовая корона тип С2080 с четири линейно разположени сонди от волфрамов карбид;

межзондовое разстояние =(1,3±0,010) мм

максималният линеен размер на работната площадка сонда — не повече от 60 микрона.

Силата клип на сондата към слитку — 0,5−2,0 Н.

2.1.2. Източник на постоянен ток, който осигурява получаване на тока от измерваната полярност в рамки, съответстващи на предназначението на инсталацията.

Допустимите отклонения на електрически ток по време на измерване е не по-малко от 0,5% от неговата стойност.

Грешката на измерване на електрически ток — не повече от 0.5%.

2.1.3. Измервателно устройство, което да осигури измерване на напрежения в рамки, съответстващи на предназначението на инсталацията, при което е необходимо за правилно измерване на внушенията съпротива.

Грешката на измерване не повече от 1,0%.

Гранични стойности работни токове и измерените напрежения в зависимост от размера на дела електрическо съпротивление са показани в таблицата.

Границата двойникования в монокристаллических кюлчета силиций

 — чувствителност гальванометра работен ток И/мм;

 — минималната цена на деление на скалата гальванометра, mm.

Използването на полуавтоматични потенциометров тип Р-348, Р-349 се препоръчва за тези диапазони индукция на електрически съпротивления, за които посочените в паспорта потенциометъра стойности на допустимите външни съпротива представляват от стойности, препоръчани от таблицата за въвеждане на съпротива на измервателния уред.

2.1.4. Допуска прилагането инсталации «Метрика-104», «Метрика-124», «Метрика-224», «Диск-204» и други средства за измерване, чиито характеристики отговарят на изискванията В чл. 24392.

(Въведени допълнително, Изъм. N 1).

2.2. Материали, апаратура

Материали и абразивни И 3647*.
_______________
* На територията На Руската Федерация c 01.07.2006 ще действа ГОСТ Р 52381−2005. — Забележка «КОДЕКС».

Прах, диамантени И 9206.

Инструменти от диамант с прилагането на диамантени прахове.

Кърпа за опаковка, суровата.

Филтри обеззоленные.

Хартия промокательная.

Вода за пиене техническа.

Бязь бяла И 29298.

Етилов алкохол в 18300, в 5962*.
_______________
* На територията На Руската Федерация действа ГОСТ Р 51652−2000.

Марля И 9412.

Филтърна хартия И 12026.

Инсталация за измерване на съпротивление електрическо съпротивление:

«Метрика-104» по ТУ 25−10 (АМЦ.778.019);

«Метрика-124» по ТУ 2−10 (АМЦ.778.020);

«Метрика-224»;

«Диск-204».

Поносите, Изъм. N 1).

3. Условия за провеждане на измервания

3.1. Измерване на съпротивление на електрически съпротивления се извършва на кюлчета, като във всички точки от еднакъв тип проводимост.

3.2. За измерване се извършва на плоски повърхности, които имат грапавост на не повече от 2,5 микрона в 2789.

3.3. При провеждане на измервания на разстояние между ръба на кюлчета и най-близките до него сондата трябва да бъде не по-малко от 5 мм.

3.4. Измерването се извършва при фиксирана температура (23±2) °C.

Температурата на кюлчета доведе до (23±2) °С, преживял го не по-малко от 1 час при тази температура.

3.5. Измерване на ценни метали с относително електрическо съпротивление с голям от 200 Ома·см, трябва да се извършва при затемнении блок. За останалите обхвати на дела електрическо съпротивление при измерения е позволено осветление блок разсеяна светлина на не повече от 500 лукса.

4. Извършване на измервания

4.1. Върху подготвената повърхност блок, инсталиран в держателе, потопени, без да удря сонди за измерване на главата, перпендикулярно на повърхността.

4.2. Определят стойността на ток, чрез блок (вижте таблицата) и се извършва измерване на падане на напрежението между вътрешния сонди при две полярностях ток.

Целева стойност измерена напрежение се определя като средно аритметично от измервания при две полярностях ток.

Допуска се измерване при една полярност на тока.

5. Обработка на резултатите

Притискане на електрическо съпротивление (), Ω·см, изчисляват по формулата

, (2)

къде  — ефективно разстояние между сонди за измерване на главата, см, изчислена по формула

, (3)

където , ,  — разстояние между сонди, виж

къде  — в единия край;  — на другия край;

средна стойност на дела електрическо съпротивление на края:

,

къде  — в единия край;  — на другия край;

радиално относителното отклонение на дела електрическо съпротивление от средната стойност за торцу блок за край:

%,

къде  — в единия край;  — на другия край;

относителното отклонение от средните стойности на дела електрическо съпротивление торцов от номиналната стойност на дела на съпротива :

%,

за един челото и

,

за друг челото.

Поносите, Изъм. N 1).

9. Изисквания за квалификация на оператора

Квалификация на оператора в степента, необходима за извършване на измервания, трябва да отговарят на изискванията на зададено измерване на електрически параметри на полупроводникови материали на трета или по-високо освобождаване от отговорност в съответствие с действащите тарифно-квалификационными разрядами.

10. Изисквания за техника на безопасност

10.1. Устройството и техническата експлоатация на използвания электроизмерительного оборудване трябва да отговарят на изискванията на «Правилник за техническа експлоатация на електрически режим защита на потребителите и правилата за техника на безопасност при експлоатация на електроинсталации на потребителите», одобрени Госэлектронадзором.

По силата на электробезопасности на електрически инсталации, използвани за измерване на съпротивление електрическо съпротивление, се отнасят до электроустановкам напрежение до 1000 V.

ПРИЛОЖЕНИЕ 4 (задължително). ОПРЕДЕЛЯНЕ НА ПЛЪТНОСТ НА ДИСЛОКАЦИЯ В МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ КЮЛЧЕТА СИЛИЦИЙ

ПРИЛОЖЕНИЕ 4
Задължително

ОПРЕДЕЛЯНЕ НА ПЛЪТНОСТ РАЗМЕСТВАНИЯ В МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ
КЮЛЧЕТА СИЛИЦИЙ

Техниката е предназначена за определяне на плътността на размествания в монокристаллических кюлчета силиций електронното и дырочного видове проводимост с относително електрическо съпротивление по-0,005 Ома·см за ориентация (100) и (013), с относително електрическо съпротивление по-0,0008 Ома·см за ориентация (111).

Методологията е приложима за кюлчета силиций с плътност размествания от 0 до 1·10см. Силиций бездислокационный при не повече от 10см.

1. Същност на метода

Брой размествания е характеристика на съвършенството на кристала.

Методика за идентифициране на размествания се основава на разликата в скоростта на ецване области блок с дислокациями и без тях. В пресечната точка на размествания и изследваната повърхност скоростта на ецване на кюлчета по-горе, вследствие на което размествания запис във формата на ями офорт. Определяне на плътност размествания се извършва на повърхността на кюлчета, подвергнутых избирательному химически гравирани след култивиране или механична обработка.

Горната граница измерения на дела електрическо съпротивление , Ома·см	На горната граница на работните токове , А	Горната граница измерена напрежение , В	Входното съпротивление на измервателните уреди , Ом, не по-малко
10
1·10-5·10	170−350
5·10-1·10	350−600

На измерваната повърхност разглеждат в две взаимно перпендикулярни направления девет полета точка и определят броя дислокационных дупки гравиран във всяка една от тях. Местоположение на полета точка за определяне на плътност размествания на краищата на блокове или на плочи приведени в таблица.4. Схема на избор на полета точка за определяне на плътност размествания показан по дяволите.2.

Таблица 4

Местоположение на полета точка за контрол на плътността на размествания на краищата на
монокристаллических на блокове или на плочи

Диаметър на проба, мм	Разстояние на измерване точки от ръба на пробата, мм
	1 и 6	2 и 7	3	4 и 8	5 и 9
30,0	3,1	7,2	15,0	22,8	26,9
31,0	3,1	7,4	15,5	23,6	27,9
32,0	3,2	7,6	16,0	24,4	28,8
33,0	3,2	7,8	16,5	25,2	29,8
34,0	3,3	8,0	17,0	26,0	30,7
На 55.0	4,6	12,8	27,5	42,6	50,4
56,0	4,7	12,6	28,0	43,4	51,3
57,0	4,7	12,8	28,5	44,2	52,3
58,0	4,8	13,0	29,0	45,0	53,2
59,0	4,9	13,3	29,5	45,7	54,1
60,0	4,9	13,5	30,0	46,5	55,1
61,0	5,0	13,7	30,5	47,3	56,0
62,0	5,0	13,9	31,0	48,1	57,0
63,0	5,1	14,1	31,5	48,9	57,9
64,0	5,2	14,3	32,0	49,7	58,8
65,0	5,2	14,5	32,5	50,5	59,8
66,0	5,3	14,7	33,0	51,3	60,7
67,0	5,3	14,9	33,5	52,1	61,7
68,0	5,4	15,2	34,0	52,8	Се 62.6
69,0	5,5	15,4	34,5	53,6	63,5
70,0	5,5	15,6	35,0	54,4	64,5
71,0	5,5	15,8	35,5	55,2	65,4
72,0	5,6	16,0	36,0	56,0	66,4
73,0	5,7	16,2	36,5	56,8	67,3
74,0	5,8	16,4	37,0	57,6	68,3
75,0	5,8	16,6	37,5	58,4	69,2
76,0	5,9	16,8	38,0	59,2	70,1
77,0	5,9	17,0	38,5	60,0	71,1
78,0	6,0	17,3	39,0	60,7	72,0
79,0	6,1	17,5	39,5	61,5	72,9
80,0	6,1	17,7	40,0	На 62, 3	73,9
81,0	6,2	17,9	40,5	63,1	74,8
82,0	6,2	18,1	41,0 Квалификация на оператора в степента, необходима за извършване на измервания по настоящата процедура трябва да отговарят на изискванията на зададено измерване на електрически параметри на полупроводникови материали четвърти или по-високо освобождаване от отговорност на «Сборник за тарифно-квалификационни характеристики, работи и професии, работещи за предприятия на цветната металургия. Производство на титан и редки метали, на полупроводникови материали и кварцови изделия». 7. Изисквания за безопасност 7.1. Устройството и техническата експлоатация на электроизмерительного оборудване, се прилага в съответствие с този метод, трябва да отговарят на изискванията на «Правилник за техническа експлоатация на електрически режим защита на потребителите и правилата за техника на безопасност при експлоатация на електроинсталации на потребителите». По силата на электробезопасности на електрически инсталации, използвани при измерване на концентрацията на оптически активния кислород, се отнасят до электроустановкам до 1000 V. 7.2. Электроизмерительную инсталация (спектрофотометър) трябва да се подлагат на редовни технически прегледи и планиране предупредительному ремонт, изпълняван от представители на предприятията, продукцията на който тази настройка. 7.3. За провеждане на измерване се разрешава само на лица под 18-годишна възраст, като първата квалификационна група по техника на безопасност, които са преминали инструктаж по техника на безопасност на работното място с рекорд в дневника за безопасност, ознакомившиеся с тази техника, с работна инструкция и инструкциите за безопасност. 7.4. Шлифоване, резание, химическа обработка на проби се извършва в специални помещения под аспиратор за спазването на мерките за безопасност. 8. Термини и определения Оптично-активни са тези атоми кислород, силиций, които са в межузельном състояние. Предполага се, че в силиций всички атоми кислород са оптично-активни. Образец на сравнение се нарича проба оптично полирани силиций, който има еднакви с измерим модел дебелина, и концентрацията на кислород, определена по метода за активиране на анализ, по-малка от 5·10см. По дяволите.1. Предаване крива на типична плоча на монокристални блок (n-Si) с относително електрическо съпротивление над 50 Ω·см, измерена абсолютен метод Предаване крива на типична плоча на монокристални блок (Si) с относително електрическо съпротивление над 50 Ω·см, измерена абсолютен метод По дяволите.1 По дяволите.2. Криви на относителната лента типичен плоча на монокристални блок (n-Si) с относително електрическо съпротивление 0,09 Ома·см, измерена разлика метод Криви на относителната лента типичен плоча на монокристални блок () с относително електрическо съпротивление 0,09 Ома·см, измерена разлика метод  — образец на сравнение () от стойността на УЕС 0,1 Ω·см, близка, но по-голям от УЕС измерена проба; б — образец на сравнение (Si) с УЕС повече от 20 Ома·см По дяволите.2 По дяволите.3. Зависимостта на коефициента C от дебелината на пробата за различни стойности на N' при извършване на измервания абсолютен метод Зависимостта на коефициента от дебелината на пробата за различни стойности на при провеждане на измервания абсолютен метод                 Номер на кривата 1 2 3 4 Пет 6 7 N, см 1·10 3·10 5·10 7·10 1·10 1,5·10 2·10 По дяволите.3 По дяволите.4. Зависимостта на коефициента C N' различни стойности УЕС проби (n-Si) при извършване на измервания за разлика метод Зависимостта на коефициента от различни стойности УЕС проби (Si) при провеждане на измервания разлика метод                                 Стаи криви 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 УЕС, Ω·см Не по-малко от 10 5 1 0,7 0,5 0,4 0,3 0,2 0,15 0,12 0,11 0,095 0,093 0,090 20 вижте 0,2−0,25 Не по-малко от 0,95−1,00 По дяволите.4 По дяволите.5. Зависимостта на коефициента C от (N)' за различни стойности на УЕС проби (p-Si) при извършване на измервания за разлика метод Зависимостта на коефициента от за различни стойности на УЕС проби (Si) при провеждане на измервания разлика метод               Стаи криви 1 2 3 4 5 6 УЕС, Ω·см Не по-малко от 20 10 5,0 2,8 1,0 Не по-малко от 50 вижте 0,20−0,25 0,20−0,25 0,20−0,25 0,20−0,25 0,20−0,25 0,09−1,00 По дяволите.5 По дяволите.6. Зависимостта на сумарната грешка от дебелината измерена проба, предназначена за абсолютна грешка на измерване на коефициента на топлопреминаване на 0,01 при определяне на концентрацията на оптически активния кислород абсолютен метод Зависимостта на сумарната грешка от дебелината измерена проба , предназначена за при определяне на концентрацията на оптически активния кислород абсолютен метод                 Стаи криви 1 2 3 4 5 6 7 вижте 1·10 3·10 5·10 7·10 1·10 1,5·10 2·10 По дяволите.6 По дяволите.7. Зависимостта на сумарната грешка от (N), предназначена за абсолютна грешка на измерване на коефициента на топлопреминаване на 0,01 при определяне разлика метод Зависимостта на сумарната грешка от , предназначена за =0,01 при определяне разлика метод         Номер на кривата вижте УЕС, Ω·см (Si) УЕС, Ω·см (Si) 1 0,95−1,00 Повече от 20 Повече от 50 2 0,20−0,25 По-0,05 Повече от 3 3 0,20−0,25 0,04−0,05 1−3 По дяволите.7 ПРИЛОЖЕНИЕ 7. Поносите, Изъм. N 1). ПРИЛОЖЕНИЕ 8 (задължително). ИЗМЕРВАНЕ ВРЕМЕТО на ЖИВОТ на РАВНОВЕСИЕ ПРЕВОЗВАЧ (н. н. з.) В КЮЛЧЕТА МОНОКРИСТАЛНИ СИЛИЦИЕВИ МЕТОД НА МОДУЛАЦИЯ НА ПРОВОДИМОСТ В ЕДИН КОНТАКТ ПРИЛОЖЕНИЕ 8 Задължително Допуска се използването на специални устройства, да предоставят в цифров вид на резултати от измерване на времето на живот на равновесие превозвач и гарантирана прецизност на измерване. 2.1. Основните измервателни елементи на инсталация, събрана на блок-схема (по дяволите.2), са генератор на сдвоенных импулси и регистрирующий осцилоскоп. Като генератор се прилагат уреди тип Г5−7А или Г5−30А. Като на компетентния уреда се използва осцилоскопи тип C1−3, C1−5, C1−20 или С1−65. 2.2. Touch сонда се приготвя за проби: -тип — от фосфористой бронз БРОФ 6,5−0,15 в 5017; -тип — от алуминий марка А5 И 11069*. _______________ * На територията На Руската Федерация действа В 11069−2001. — Забележка «КОДЕКС». 2.3. Спомагателни елементи, осигуряващи режим на генератор на ток, формовку точка на контакт, ограничение на регистрираните импулси и т.н., обединени в основна схема (по дяволите.3). Стойността на съпротивлението на резистор , който предоставя режим на генератор на ток, се определя от необходимостта чрез протичането на контакт на сондата постоянно по големина импулс за ток, осигуряващ постоянно ниво на инжектиране. Така че стойността е: 100 Ома за проби с относително електрическо съпротивление по-малко от 1 Om·см; 500 Ω за проби с относително електрическо съпротивление от 1 до 100 Ома·см и 2,7−20 кОм за проби с относително електрическо съпротивление — 100 Ohm·виж По дяволите.3. Допълнителни елементи. Схема По дяволите.3 С помощта на елементите се произвеждат ограничение на импулси от измервателни отдолу, което подобрява възможността за регистриране на малки стойности на разликата . Като елементи се използват високочестотни диоди тип Д311 с малки пряк устойчивост и ниска ставка на капацитет. Формовку контакт измерване на сонда с повърхността на пробата прилагат краткосрочната подаване на touch сонда на постоянно напрежение от всеки източник с напрежение 300−400 В. При извършване на измервания не е необходимо едновременно наблюдение инжектирующего и измерване на импулси. Тяхното забавяне един спрямо друг, дадени директно генератор. За улеснение на измервания първи инжектирующий импулс може да не се подаде на входа oscillo, за което в схемата е предвиден превключвател , изход верига синхронизация oscillo. 2.4. Спомагателни материали. Материали и абразивни И 3647*. _______________ * На територията На Руската Федерация c 01.07.2006 ще действа ГОСТ Р 52381−2005. — Забележка «КОДЕКС». Прах, диамантени И 9206. Инструменти от диамант с прилагането на диамантени прахове И 9206. Крупность основната фракция използвани абразивни и диамантени прахове трябва да бъде не повече от 100 микрона. Филтри обеззоленные в 12026. Хартия промокательная. Хартия на едро-координатная марка ПЛМ § 334. Бязь бяла И 29298. Плат опаковъчна суровата. Марля И 9412 или В 11109. Етилов алкохол в 18300, В 5962*. _______________ * На територията На Руската Федерация действа ГОСТ Р 51652−2000. Водата е питейна, техническа И 2874*. _______________ * На територията На Руската Федерация действа ГОСТ Р 51232−98. 3. Подготовка за измерване на 3.1. Измерена чрез повърхността на челото на монокристалла шлифована въртящи се абразивни материали, диамант прах или диамантени инструменти. При липсата на инжектиране е позволено ецване на повърхността. 3.2. На страничната повърхност монокристалла създават омический контакт с площ не по-малко от 1 смотлагането на паладий, никел, индий-галлиевой или алуминий-галлиевой паста. Квалификация на оператора в степента, необходима за извършване на измервания, трябва да отговарят на изискванията на зададено измерване на електрически параметри на полупроводникови материали на трета или по-високо освобождаване от отговорност в съответствие с действащото тарифно-отговарящи на вашия. 7. Изисквания за безопасност Устройството и техническата експлоатация на използвания электроизмерительного оборудване трябва да отговарят на изискванията на «Правилник за техническа експлоатация на електрически режим защита на потребителите и правилата за техника на безопасност при експлоатация на електроинсталации на потребителите». По силата на электробезопасности на електрически инсталации, използвани за измерване на времето на живот на равновесие превозвач, се отнасят до электроустановкам напрежение до 1000 V. ПРИЛОЖЕНИЕ 8а (задължително). ИЗМЕРВАНЕ НА КОНЦЕНТРАЦИЯ НА АТОМИТЕ ОПТИЧЕСКИ АКТИВЕН ВЪГЛЕРОД В КЮЛЧЕТА МОНОКРИСТАЛНИ СИЛИЦИЕВИ ПРИЛОЖЕНИЕ 8a Задължително Концентрацията на оптически активния въглерод в нетермообработанных кюлчета монокристални силициеви електронен или дырочного видове проводимост разлика оптичен метод. Допуска изпичане при температури, които не надвишават 750 °C в продължение на период от време не повече от 3 часа Диапазон на концентрации на оптически активния въглерод, подлежащи на измерване за този метод от =3·10см( — границата на чувствителност на метода, дефиниран като концентрация , измерване, която се извършва с относителна грешка не повече от 50%, с надеждната вероятност =0,95) чак до границата на разтворимостта атомарного диоксид в силиций, равен на 3·10см. Концентрацията на оптически активния въглерод измерване на проби с относително електрическо съпротивление над 30 Ома·см за силиция -тип проводимост и повече от 5 Ома·см за силиция -тип проводимост. 1. Същност на метода Присъствието на оптически активни въглеродни атоми на силиций води до появата на ивици на поглъщане с максимум при стойност на вълната на броя на 607 cm(по дяволите.1). В същата област на спектъра в силиций, с изключение на въглеродна ленти, се наблюдава ивица на поглъщане на кристалната решетка с коефициент на поглъщане на максимум 8 см. По дяволите.1. Схематично изображение на пилотния спектър на относителния лента Схематично изображение на пилотния спектър на относителния лента 4.3.1. Преди всяка серия от измервания, но не по-рядко от един път на смяна, се записват 100%-ную линия в областта на вълната числа =570−770 см. Ако промяната 100%-ной линия надвишава допускане, предвиден паспорт на уреда, а след това спектрофотометър подлежи на калибриране. 4.3.2. В канал проба двухлучевого близост до инфрачервения спектрометър определят измерена проба, а в канал за сравнение — образец на сравнение. 4.3.3. Записват гама от относителния лента проба в режим, обеспечивающем липсата на изкривяване на формата на ивици на поглъщане на въглерод, вмъкване на спектрофотометром. Препоръчителни режими на работа близост до инфрачервения спектрометър тип «Specord-75 IR» са дадени в таблицата. 4.3.4. Правилността на избора на скорост на запис на спектъра и се отвори програмата близост до инфрачервения спектрометър проверяват по два начина.             Тип близост до инфрачервения спектрометър Обсъждане на програмата Мащабът на регистрация, мм/100 см Усиле- ние Време на запис мин./лист Постоянна време «Specord -75 IR" 3 200 6 11х0,3 (ръчен режим на постоянно забавяне) 10 4.3.4.1. Контролират полуширину ивици на поглъщане на въглерода, която не трябва да надвишава 8 cmпри температура 300 °К. с половин ширина ивици на поглъщане е равен на половината от максималната стойност на коефициента на поглъщане на въглерода . 4.3.4.2. Проверяват запазването на постоянство на коефициента на относително лента в минимална ивици на поглъщане на въглерод при по-нататъшното намаляване на скоростта на запис. 5. Обработка на резултатите 5.1. Извършва основни линия (касательную на кривата на относителното лента) на регистрираната на кривата на относителното лента (по дяволите.1). 5.2. За измерена на кривата на относителното лента определят значение , съответстващо на минимум зависимост , а на базисной линия — сравнително значение при една и съща (по дяволите.1). 5.3. Концентрацията на въглерод изчисли до две значещи цифри по формулата . (1) 5.4. Истинска методология определя следните показатели за точност на измерване на концентрацията на оптически активния въглерод в монокристаллическом силиций. 5.4.1. Случайна грешка при измерване не трябва да надвишава 20% от надеждната вероятност =0,95. 5.4.2. Допустимата стойност на сумарната грешка се определя арифметическим суммированием инструментална и случайна грешка (по дяволите.2). По дяволите.2. Зависимостта на относителната сумарната грешка от концентрацията на оптически активни въглени. Абсолютна грешка при измерване на коефициента на топлопреминаване на 0,01 Зависимостта на относителната сумарната грешка от концентрация оптически активни въглеродни атоми ; =±1% По дяволите.2 5.5. Ако концентрацията , изчислена по формула, посочена в ап 5.3, по 3·10cm, а след това в резултат на измерване на концентрацията на оптически активния въглерод е неговата стойност, изчислена по формула (1), с оглед на предизборната кампания, посочена в ап 5.4.2. От страна на по-големи стойности техника няма ограничения измерваната величина , чак до границата на разтворимостта на въглероден двуокис, равен на 3·10см. Ако изчислената концентрация на по-малко от 3·10cm, а след това в резултат на измерване на концентрацията на оптически активния въглерод е рейтинг: по-малко от 3· 10см. 5.6. Межлабораторная грешка, дефиниран като разлика между средни от десет паралелни измервания на стойностите , не трябва да надвишава 25%. 6. Изисквания за квалификация на оператора Квалификация на оператора в степента, необходима за извършване на измерванията по този метод, трябва да отговарят на изискванията на зададено измерване на електрически параметри на полупроводникови материали четвърти или по-високо освобождаване от отговорност в съответствие с действащото тарифно-отговарящи на вашия. 7. Изисквания за безопасност 7.1. Устройството и техническата експлоатация на электроизмерительного оборудване, се прилага в съответствие с този метод, трябва да отговарят на изискванията на «Правилник за техническа експлоатация на електрически режим защита на потребителите и правилата за техника на безопасност при експлоатация на електроинсталации на потребителите». По силата на электробезопасности на електрически инсталации, използвани за измерване на концентрацията на оптически активния въглерод, се отнасят до электроустановкам до 1000 V. 8. Термини и определения Оптически активни атоми — атомите на въглерод в силиций, разположени във възли на кристалната решетка и подмяна на атомите на силиция. Предполага се, че в нетермообработанном силиций, а също и в силиций, претърпялото термично обработена при посочените по-горе режими, всички атоми са оптично-активни. Контрол на наличието на свирлевых дефекти (свирлевой картини) се извършва чрез визуален преглед на контролирани повърхността и отчитане на броя на микродефектов в очите микроскоп. 2. Апаратура, материали, реагенти Микроскоп металлографический ММР-4. Луминесцентна лампа с мощност не по-малко от 15 Вата. Везни ВЛТК или VSC-2 в 29329. Вани от винипласта. Мерителна Колба в 1770. Инструменти с използване на диамантени прахове И 9206 с шкурка не по-100/80., бр. Тъкани памучни бязевой и миткалевой група в 29298. Хартия промокательная. Филтърна хартия И 12026. Киселина фтористоводородная os.ч. по ТАЗИ 6−09−3401 и ТУ 6−09−4015, техническа И 2567, селскостопанска супена, чаена, чаена ад а. в 10484. Киселина азотна os.ч. в 11125, чаена, чаена ад. те години. чаена в 4461, концентриран техническа И 701. Киселина и оцетна os.ч. в 18270, чаена, селскостопанска супена, чаена ад а. § 61. Ангидрид хромовый чаена ад а. в 3776, технически И 2548. Вода за пиене в 2874*. _______________ * На територията На Руската Федерация действа ГОСТ Р 51232−98. Допуска се използването на модула на средства за измерване и материали, подобни по предназначение и не уступающих показателите за качество. Поносите, Изъм. (2). 3. Подготовка на проби 3.1. Контрол на наличието на свирлевых дефекти извършват в края на монокристаллических на блокове или на плочи, пряко прилежащата към торцам блок. 3.2. Контролирани повърхността се третира с помощта на инструмент (рязане или шлайфане), посочени в разд.2. В контролирана площ не трябва да бъде чипс, издатини, пукнатини. 3.3. Третираните повърхности се измиват с течаща вода и се подсушават филтърна хартия или друг обтирочным материал, посочени в sp 3. 3.4. Химическо полиране. 3.4.1. Използват полиращ разтвор състав: киселина фтористоводородная — азотна киселина в съотношение 1:(2−4). 3.4.2. Монокристаллические кюлчета или плоча се потапят във вана с полирующим разтвор. В процеса на ецване разтвор се загрява. Обемът на полирующего разтвор е 5−10 см,на 1 г обработения материал или 5−10 смна 1 смот повърхността. При това цялата платима контрол повърхност трябва да бъде покрита с полирующим разтвор. При полиране трябва непрекъснато разбъркване на разтвора. 3.4.3. Продължителност на химически полиране е 2−10 минути 3.4.4. В края на полиране на блокове или на плочи бързо освободен от разтвора, се измиват под течаща вода и се подсушават филтърна хартия или друг обтирочным материал, посочени в разд.2. 3.4.5. Допуска се многократно използване на полиращ хоросан. Полиращ хоросан става неизползваем, ако при травлении в него в продължение на 10 мин полиране не се случва. 3.4.6. Допуска се за химическа полиране се използва разтвор състав: киселина фтористоводородная — азотна киселина — оцетна киселина в съотношение (3:6:2). 3.5. Идентифициране на свирлевых дефекти. 3.5.1. Равнина (111). 3.5.1.1. Използва разтвор състав: киселина фтористоводородная — воден разтвор на хром анхидрид (250−300 г/л) в съотношение (3:4). 3.5.1.2. Обемът на травителя е 1,0−1,5 см,на 1 г обработения материал или 1,8−2,2 смна 1 смот повърхността. При травлении вана с разтвор затворете капака. 3.5.1.3. Продължителност на ецване е 20−30 мин. 3.5.1.4. Начин за качване на проби се извършва както е посочено в sp 3.4.2. Разтоварване на проби се извършва след разреждане на воден амониев анхидрид хром голямо количество вода до пълно обезцветяване на разтвора. 3.5.1.5. Препоръчително е еднократно използване на разтвор за всички контролирани равнини (виж пп.3.5.1−3.5.3). 3.5.2. Равнина (100). 3.5.2.1 Използва разтвор състав: киселина фтористоводородная — воден разтвор на хром анхидрид (1200 г/л) в съотношение (1:4). 3.5.2.2. Обемът на ецване е 1,6−2,2 см,на 1 г обработения материал или 5,5−5,7 см — на 1 смот повърхността. 3.5.2.3. Продължителност на ецване е 30−40 мин. 3.5.3. Равнина (013). 3.5.3.1. Използва разтвор състав: киселина фтористоводородная — воден разтвор на хром анхидрид (300 г/л) — вода в съотношение (3:2:3). 3.5.3.2. Обемът на травителя е 0,8−1,3 см,на 1 г обработения материал или 1,6−1,9 смна 1 смот повърхността. 3.5.3.3. Продължителност на ецване е 25−30 мин. 4. Провеждане на контрол 4.1. При контрола свирлевых дефекти проверяват на контролирани повърхност с невъоръжено око, като се променя позицията си относно източника на светлина. Отбелязват място на кръг от свирлевых дефекти с вероятно най-висока плътност микродефектов. При този периферна област с ширина 5 мм и не се взема предвид. 4.2. Плътност микродефектов определят на металлографическом на общината. Препоръчително е да има в очите на не повече от 200 дупки офорт. При работа с микроскоп ММР-4 препоръчани увеличаване показани в таблицата.     Плътност микродефектов, см Наддаване До 5·10 100 От 5·от 10до 2·10 100−200 От 2·от 10до 1·10 200−300 Допуска плътност на дупки офорт изчисли на части от зрителното поле. Брой микродефектов се броят в пет точка на полета, разположени по протежение на кръг свирлевых дефекти с максимална плътност микродефектов, като прескочите след всяко измерване два погледа. Плътност микродефектов в зрителното поле () изчисляват по формулата , (1) където е броят на микродефектов в очите. При плътност микродефектов не повече от 2·10смза кюлчета ориентация (100) и (013) и не повече от 3·10смза кюлчета ориентация (111) кюлчета се считат за не съдържащи свирлевых дефекти. 4.3. При изчисляването на плътността на микродефектов на изследваната повърхност под микроскоп трябва да се разграничава ями, офорт, свързани с ростовыми микродефектами, от фигури, офорт, възникнали в резултат на окисляване и механични нарушения на повърхността (по дяволите.3, 4). Плътност микродефектов се броят в кръг свирлевых дефекти, свободен от посочените по-горе цифри офорт. 4.4. Окисная филм изглежда под формата на петна, островчета или плътен мат, на фона. Когато окисная филм затруднява наблюдението свирлевых дефекти, контролирани от повърхността подлежи на повторно механична и химическа обработка. 4.5. При визуална проверка може да бъде открит релеф офорт, свързани с примесной неоднородностью. Този релеф под микроскоп изглежда като система от канали. 4.6. За приготвяне на полирующего разтвор използват киселина всяка чистота, за селективна разтвор (откриване на свирлевых дефекти) използват само киселина особена чистота. 4.7. Грешка на измерване, изчислена по формула (1), не надвишава 30% от надеждната вероятност =0,95. 5. Изисквания за квалификация на оператора Квалификация на оператора в степента, необходима за извършване на измервания по настоящата процедура трябва да отговарят на изискванията на зададено измерване електрическите параметри на полупроводникови материали на трета или по-високо освобождаване от отговорност в съответствие с действащото тарифно-отговарящи на референция. 6. Изисквания за сигурност 6.1. При изпълнение на работата за контрол на наличието на свирлевых дефекти в бездислокационных кюлчета силиций може да се появят следните форми на опасност и вреда: электроопасность, химически изгаряния и токсичност (отравяне с киселини). 6.2. Източник электроопасности са електрически системи следната апаратура: lightbox микроскоп и ширм. 6.3. Източник химически изгаряния и токсичност са: азотна киселина, оцетна киселина и хромовый ангидрид. 6.4. При извършване на работа трябва строго да се спазват изискванията на правилата за техника на безопасност и производствена хигиена в химическа лаборатория в съответствие с изискванията на ГОСТ 1367.0. 7. Термини и определения 7.1. Свирлевый дефект (свирлевая живопис) — спиралеобразное разпределение микродефектов относително оста на растеж, открива след изборния гравиран в края на монокристални блок (по дяволите.1) с плътност микродефектов над 2·10см. 7.2. Микродефект — локална област на кюлчета, която по свойства от околната матрица, ограничен размер на 10-10микрона. По дяволите.1. Свирлевая картината на края на монокристални силициеви Свирлевая картината на края на монокристални силициеви По дяволите.1 По дяволите.2. Яма-офорт, които свирлевую картина Яма-офорт, които свирлевую картина а — на самолет (111); б — на самолет (100); в — на самолет (013) Увеличаване на 100 По дяволите.2 По дяволите.3. Яма-офорт, възникнали вследствие на окисляване на повърхността на пробата Яма-офорт, възникнали вследствие на окисляване на повърхността на пробата Увеличение 225 По дяволите.3 По дяволите.4. Яма-офорт, възникнали в резултат на механични нарушения на повърхността на проби Яма-офорт, възникнали в резултат на механични нарушения на повърхността на проби Увеличение 225