С посещението на този сайт вие приемате използването на cookie. Повече за нашата политика cookie.

В 24392-80

В 33729-2016 В 20996.3-2016 В 31921-2012 В 33730-2016 В 12342-2015 В 19738-2015 В 28595-2015 В 28058-2015 В 20996.11-2015 г. В 9816.5-2014 В 20996.12-2014 В 20996.7-2014 ГОСТ Р 56306-2014 ГОСТ Р 56308-2014 В 20996.1-2014 В 20996.2-2014 В 20996.0-2014 В 16273.1-2014 В 9816.0-2014 В 9816.4-2014 ГОСТ Р 56142-2014 ГОСТ Р 54493-2011 В 13498-2010 ГОСТ Р 54335-2011 В 13462-2010 ГОСТ Р 54313-2011 ГОСТ Р 53372-2009 ГОСТ Р 53197-2008 ГОСТ Р 53196-2008 ГОСТ Р 52955-2008 ГОСТ Р 50429.9-92 В 6836-2002 В 6835-2002 В 18337-95 В 13637.9-93 В 13637.8-93 В 13637.7-93 В 13637.6-93 В 13637.5-93 В 13637.4-93 В 13637.3-93 В 13637.2-93 В 13637.1-93 В 13637.0-93 В 13099-2006 В 13098-2006 В 10297-94 В 12562.1-82 В 12564.2-83 В 16321.2-70 В 4658-73 В 12227.1-76 В 16274.0-77 В 16274.1-77 В 22519.5-77 В 22720.4-77 В 22519.4-77 В 22720.2-77 В 22519.6-77 В 13462-79 В 23862.24-79 В 23862.35-79 В 23862.15-79 В 23862.29-79 В 24392-80 В 20997.5-81 В 24977.1-81 В 25278.8-82 В 20996.11-82 В 25278.5-82 В 1367.7-83 В 26239.9-84 В 26473.1-85 В 16273.1-85 В 26473.2-85 В 26473.6-85 В 25278.15-87 В 12223.1-76 В 12645.7-77 В 12645.1-77 В 12645.6-77 В 22720.3-77 В 12645.4-77 В 22519.7-77 В 22519.2-77 В 22519.0-77 В 12645.5-77 В 22517-77 В 12645.2-77 В 16274.9-77 В 16274.5-77 В 22720.0-77 В 22519.3-77 В 12560.1-78 В 12558.1-78 В 12561.2-78 В 12228.2-78 В 18385.4-79 В 23862.30-79 В 18385.3-79 В 23862.6-79 В 23862.0-79 В 23685-79 В 23862.31-79 В 23862.18-79 В 23862.7-79 ГОСТ 23862.1-79 В 23862.20-79 В 23862.26-79 В 23862.23-79 В 23862.33-79 В 23862.10-79 В 23862.8-79 В 23862.2-79 В 23862.9-79 В 23862.12-79 В 23862.13-79 В 23862.14-79 В 12225-80 В 16099-80 В 16153-80 В 20997.2-81 В 20997.3-81 В 24977.2-81 В 24977.3-81 В 20996.4-82 В 14338.2-82 В 25278.10-82 В 20996.7-82 В 25278.4-82 В 12556.1-82 В 14339.1-82 В 25278.9-82 В 25278.1-82 В 20996.9-82 В 12554.1-83 ПРЕДМЕТ на 1367.4-83 В 12555.1-83 В 1367.6-83 В 1367.3-83 В 1367.9-83 В 1367.10-83 В 12554.2-83 В 26239.4-84 В 9816.2-84 В 26473.9-85 В 26473.0-85 В 12645.11-86 В 12645.12-86 В 8775.3-87 В 27973.0-88 В 18904.8-89 В 18904.6-89 В 18385.0-89 В 14339.5-91 В 14339.3-91 В 29103-91 В 16321.1-70 В 16883.2-71 В 16882.1-71 В 12223.0-76 В 12552.2-77 В 12645.3-77 В 16274.2-77 В 16274.10-77 В 12552.1-77 В 22720.1-77 В 16274.4-77 В 16274.7-77 В 12228.1-78 В 12561.1-78 В 12558.2-78 В 12224.1-78 В 23862.22-79 В 23862.21-79 В 23687.2-79 В 23862.25-79 В 23862.19-79 В 23862.4-79 В 18385.1-79 В 23687.1-79 В 23862.34-79 В 23862.17-79 В 23862.27-79 В 17614-80 В 12340-81 В 31291-2005 В 20997.1-81 В 20997.4-81 В 20996.2-82 В 12551.2-82 В 12559.1-82 В 1089-82 В 12550.1-82 В 20996.5-82 В 20996.3-82 В 12550.2-82 В 20996.8-82 В 14338.4-82 В 25278.12-82 В 25278.11-82 В 12551.1-82 В 25278.3-82 В 20996.6-82 В 25278.6-82 В 14338.1-82 В 14339.4-82 В 20996.10-82 В 20996.1-82 В 12645.9-83 В 12563.2-83 В 19709.1-83 В 1367.11-83 В 1367.0-83 В 19709.2-83 В 12645.0-83 В 12555.2-83 В 1367.1-83 В 9816.3-84 В 9816.4-84 В 9816.1-84 В 9816.0-84 В 26468-85 В 26473.11-85 В 26473.12-85 В 26473.5-85 В 26473.7-85 В 16273.0-85 В 26473.3-85 В 26473.8-85 В 26473.13-85 В 25278.13-87 В 25278.14-87 В 8775.1-87 В 25278.17-87 В 18904.1-89 В 18904.0-89 ГОСТ Р 51572-2000 В 14316-91 ГОСТ Р 51704-2001 В 16883.1-71 В 16882.2-71 В 16883.3-71 В 8774-75 В 12227.0-76 В 12797-77 В 16274.3-77 В 12553.1-77 В 12553.2-77 В 16274.6-77 В 22519.1-77 В 16274.8-77 В 12560.2-78 В 23862.11-79 В 23862.36-79 В 23862.3-79 В 23862.5-79 В 18385.2-79 В 23862.28-79 В 16100-79 В 23862.16-79 В 23862.32-79 В 20997.0-81 В 14339.2-82 В 12562.2-82 В 25278.7-82 В 20996.12-82 В 12645.8-82 В 20996.0-82 В 12556.2-82 В 25278.2-82 В 12564.1-83 В 1367.5-83 В 25948-83 В 1367.8-83 ПРЕДМЕТ на 1367.2-83 В 12563.1-83 В 9816.5-84 В 26473.4-85 В 26473.10-85 В 12645.10-86 В 8775.2-87 В 25278.16-87 В 8775.0-87 В 8775.4-87 В 12645.13-87 В 27973.3-88 В 27973.1-88 В 27973.2-88 В 18385.6-89 В 18385.7-89 В 28058-89 В 18385.5-89 В 10928-90 В 14338.3-91 В 10298-79 ГОСТ Р 51784-2001 В 15527-2004 В 28595-90 В 28353.1-89 В 28353.0-89 В 28353.2-89 В 28353.3-89 ГОСТ Р 52599-2006

В 24392−80

INTERSTATE СТАНДАРТ

СИЛИЦИЙ И ГЕРМАНИЙ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ

ИЗМЕРВАНЕ НА СЪПРОТИВЛЕНИЕ ЕЛЕКТРИЧЕСКО СЪПРОТИВЛЕНИЕ ЧЕТЫРЕХЗОНДОВЫМ МЕТОД

Официалното Издание

БЗ 10−99

ИПК ИЗДАТЕЛСТВО СТАНДАРТИ Москва

UDK 669.782/.783−172:621.317.33:006.354 Група В59

INTERSTATE СТАНДАРТ

СИЛИЦИЙ И ГЕРМАНИЙ ЕДИНЕН CRYSTAL И ЧЕСКИ E

ГОСТ

И).мереиис дела електрическо съпротивление 1 1

четири зонловым метолом 24392−80

Monocrystalline silicon and germanium.

Measurement of the electrical resistivity by the lour-probe method

ОКСТУ 1770

Дата на ВВС.1СНМЯ 01.01.81

Този стандарт определя четырехзондовый метод за измерване на съпротивление електрическо съпротивление на равна повърхност кюлчета монокристаллических силиций и германия електронен или дырочного тип проводимост в диапазона от стойности на дела електрическо съпротивление от МО-4 Ома см до 1 на 10* Ω виж

Методът се основава на измерване на разликата в потенциала между две сонди четырехзондовой на измервателната глава, работеща на повърхността на контролирания образна, при пропускании електрически ток определена стойност чрез другите две точкови сонда, разположени на една и съща повърхност, и изчисляване на дела електрическо съпротивление.

Поносите, Изъм. Брой 2).

I. АПАРАТУРА И МАТЕРИАЛИ

Структурна схема на измервателната инсталация е даден на чертежа.

4

/ — чет ырехзонловая и верительная гол той ка: 2 — източник на пасюки някой deca:

3 — уред за намеренията на електрическо напрежение: 4 — образец на

Измерите.тьная инсталацията трябва да се аттестована на грешка при измерване на дела електрическо съпротивление, не надвишава 5%.

1.1. За четырехзондовая корона с четири линейно разположени сонди от волфрамов карбид трябва да отговарят на изискванията, посочени в таблица. 1.

Таблица 1

Номинално значение межюндопою разстояния см Допустимо отклонение межюндопою разстояния. % Силата клип зоила Н F. Липейный размера на работната плошалки сонда, хм, не повече от
0,159
0.130 11 0.50−2.00 60
0.075
Официалното Издание Препечатайте воспрещена

© Издателство стандарти. 1980 £> И П. К. Издателство стандарти. 2001

2 С. И 24392−80

1.2. Източник на постоянен ток, осигуряващ създаването на веригата за измерване на електрически ток променлива полярност, трябва да отговарят на изискванията, посочени в таблица. 2. Таблица 2

Горната граница и «меряемого дела элеюрического съпротивление rv Ω cm Всрхннн ограничаване на електрически ток /. А Горната граница измерена електрическо напрежение V, В Входно електрическо съпротивление на устройство за измерване на Лм. Ом, не по-малко
по-3 1,010-' 2,1 10-1 1I03
1 10-г 1,010-' 2,1−10-3 М4
1−10-« 1,010' 2.1 10-3 1 101
1 10° 8.2 на 10~2 кою-' М6
I101 8.2 на 10-3 1,010-' Ы0Т
М2 8,2−10-4 1,010-' 110*
НА3 8,2 10* 1,010-' 2−10*
М* 8,2−10-6 1,010-' на9

1.2.1. Допустима нестабилност на електрически ток по време на измерванията трябва да бъде не по-малко от 0,5%.

1.2.2. Грешката на измерване на силата на електрически ток — не повече от 0.5%.

1.3. Уред за измерване на електрическо напрежение с грешка не повече от 1% трябва да отговарят на изискванията, посочени в таблица. 2.

1.4. Устойчивост на изолацията на измервателната схема трябва да бъде не по-малко от въвеждане на повърхността на измервателния уред.

1.5. Спомагателни устройства и материали

Термометър с грешка на измерване на не повече от 0.5 *Ss

Материали и абразивни на УПРАВИТЕЛНИЯ 3647.

Инструменти от диамант с прилагането на диамантени прахове за ОБЩЕСТВЕНИТЕ 9206.

Прах диамант.

Филтърна хартия за ОБЩЕСТВЕНИТЕ 12026.

Хартия промокательная.

Бязь избелено по § 2929S.

Материал за почистване — опаковки, кърпа арт. 6313 или 6304.

Вода за пиене по § 2874*.

Етилов алкохол по § 18300.

Допуска се използване на инструменти и материали, уступающих по-горе в зависимост от техните характеристики и качество.

2. ПОДГОТОВКА НА ПРОБИ И УСЛОВИЯТА НА ПРОВЕЖДАНЕ НА ИЗМЕРВАНИЯТА

2.1. За измерване се извършва на плоски повърхности, които имат настройка на неравностите Ra за И 2789 не повече от 2.5 микрона. Измерване на съпротивление на електрически повърхността на силиций р-тип проводимост с р — 10J Ω cm провеждат върху плоски повърхности с параметрите на грапавост R. в диапазон от (20

2.1. Г За осигуряване на необходимата грапавост на повърхността образны полирани с абразивни материали или инструменти от диамант с прилагането на диамантени прахове.

2.1.2. След пилинг на проби се измиват с течаща питейна или пречистена техническа вода, изсушават филтър (попивателна) хартия или други материали и обезжиривают спирт.

2.2. При провеждане на измервания на разстоянието между ръба (чужбина равнина) и най-близкото до него сондата трябва да бъде не по-малко от 4 /0, където /0 — номиналното значение межзондового разстояния.

2.3. При измерване на съпротивление електрическо съпротивление по които кюлчета широчина на измервателната пътеки трябва да бъде не по-малко от 6 /0.

2.4. Измерване изпълнява при фиксирана температура (23±2) 'С. Контролирани образны се довежда до температура, при която се извършва измерване. Допуска се провеждане на измере-

1

На територията На Руската Федерация действа ГОСТ Р 51232−98.

В 24392−80 Vs 3

ний при фиксирани с грешка ±0,5 'С температура в диапазона (23±5) «С извършване температурную корекция на измерванията в съответствие с приложение.

2.5. Измерване на съпротивление електрическо съпротивление на германия с р — 45 Омсм и силиций, с р — 200 Ω cm изпълняват при затемнении проба. За останалите обхвати на дела електрическо съпротивление е позволено осветление проби разсеяна светлина на не повече от 500 лукса.

3. ПРОВЕЖДАНЕ НА ИЗМЕРВАНЕ И ОБРАБОТКА НА РЕЗУЛТАТИТЕ

3.1. На повърхността на пробата, определени от притежателя, плавно се спуска сонди за измерване на главата перпендикулярно на повърхността.

3.2. След като пробата преминава електрически ток / и измерват стойността на разликата потенциачов между вътрешните потенциални сонди при две полярностях на електрически ток. За резултат от измерването на разликата в потенциала U вземат средно аритметично на получените стойности. Стойност на електрически ток се определят в съответствие с изискванията на таблица. 2.

3.3. Изчисляват стойността на дела електрическо съпротивление r, Ω см по формула (1)

където U — стойност на потенциални разлики. В:

/- стойността на електрически ток, при който прекарва измерване. Л;

/, българия — ефективна стойност межзондового разстояние, изчислено по формула (2)

(2)

къде /, /2, /3 — разстояние между първия и втория, втория и третия, третият и четвъртият сонди

съответно.

При използване на четырехзондовой на главата, която е с отклонение межзондового разстояние от номиналната стойност /0 не надвишава ±1%, формула (2) се заменят стойност / = /0.

3.4. Допуска се извършване на измервания и обработка на резултатите с помощта на средства за автоматизация на алгоритъм, изложенному в настоящия стандарт.

Разд. 1−3. Поносите, Изъм. Брой 2).

4. ПРЕДСТАВЯНЕ НА РЕЗУЛТАТИТЕ ОТ ИЗМЕРВАНИЯ И НОРМИ НА ПОКАЗАТЕЛИ ЗА ТОЧНОСТ

4.1. В резултат на измерване на съпротивление на електрически сопротиаления яашется стойност, изчислената по формула (I).

4.2. Случаен компонент на грешката на измерване на съпротивление на електрически сопротиале-ния, характеризующая схолимость на резултатите от измерване, да не превишава ±2% при надеждната вероятност Р = 0.95.

4.3. Общата грешка при измерване не надвишава ±5% при контрол на проби от р<103 Ω cm и не повече от ±8% при контрол на проби с относително електрическо съпротивление над 103 Ω cm при надеждната вероятност Р = 0.95.

4.4. Резултат от измерване на съпротивление електрическо съпротивление предстааляют трехзначным число, ако първата цифра яаляются 1, 2, 3, и двуцифрен, ако първата цифра е повече от 3.

Разд. 4. (Въведени допълнително. Изъм. Брой 2).

Vs 4 И 24392−80

ПРИЛОЖЕНИЕ

Задължително

Резултат от измерване на съпротивление електрическо съпротивление водят до температура ^ = 23 'С по формулата

Рг (3)

0 *! — С (/-%)'

където р, — притискане на електрическо съпротивление. Ом см;

С — температурен коефициент (таблица. 1, 2);

/ — номинална температура в диапазона (23±5) 4; п, — притискане на элскгрическое съпротивление при 23 'С. г*

Резултат от измерване на съпротивление електрическо съпротивление може да бъде даден за всеки номинална температура в границите (23±5) «С.

Таблица I

Температурен коэффиииет за силиций Ишерпал дела електрическо съпротивление

за

с

n

в

0.0001 -0.004 0.004 — 0.04 0.04−0.1 0.1−1.0   1.0−10.0 10,0−10000

л-тип,

1/градушка

 0,002 0.001 0.004 0.006   0.008 0.008

р-тип,

1/градушка

 0.001 0.001 0,003 0,006   0,008 0.009

Таблипа 2

Тсмиер: пурный ко >ффиииен ■ за германия Ишерпал дела електрическо съпротивление. Ом см
0.0001−0.001 0.001−0.01 0.01−0.1 0.1−1.0 1.0−10 10−100
аз-тип 1/градушка 0,002 0,001 0,004 0.006   0.006 0.006
р-тип, 1/градушка 0,002 0.002 0,004 0,007   0,008 0.008

АП. Поносите, Изъм. Брой 2).

В 24392−80 С. 5

ИНФОРМАЦИОННЫ E ДАННИ

1. РАЗРАБОТЕНА И ВЪВЕДЕНА от Министерството на металургията на СССР

2. ОДОБРЕНИ И ВЪВЕДЕНИ В ДЕЙСТВИЕ на Постановление на Държавния комитет на СССР по стандартите от 15.09.80 № 4705

3. В 24392−80 съответства на ЧЛ CMSA 1250−78

4. ВЪВЕДЕН Е ЗА ПЪРВИ ПЪТ

5. РЕФЕРЕНТНИТЕ РЕГУЛАТОРНИ И ТЕХНИЧЕСКИ ДОКУМЕНТИ

Обошачеимс NTD. в които дадена връзка Брой точки Обошаченме NTD. нм който лама линк Брой точки
В 2789−73 2.1 В 12026−76 1.5
В 2874−82 1.5 В 18300−87 1.5
В 3647−80 1.5 В 29298−92 1.5
В 9206−80 1.5

6. Ограничение на срока на валидност, заснети по Протокол)' № 5−94 Магистралата Съвет, но стандартизация. метрология и сертификация (МНС 11−12−94)

7. ИЗДАНИЕ (март 2001 г.) с Промени № I, 2, одобрени в май 1985 г., нюне 1990 г. (ИУС 8−85, 10−90)

Редактор др. Шашипа Технически редактор Л. Л. Гусгша Коректор В. Д. Нестерова пдо Л. А. Кръгла

Над. лица. N: 1)2354 от 1−1.07.2000. Предаден на набор от 10.04.2001. Подписана за печат на 20.04.2001. Уел. печ. л. 0.93.

Uch.*itll. аз. 0,50. Тираж 117, бр. С 816. Зак. 455.

ИПК Издателство стандарти 107076. На Москва. Колодезник пер… 14.

Наордио и Зала за БОРБА Клон на ИПК И тдатсльство стандарти — тип. «Москва печатник*. 103062. На Москва. Лялин пер… 6.

Плр 0S0I02