В 16153-80
В 16153−80 Германий монокристален. Технически условия (с Промените, N 1, 2, 3, 4)
В 16153−80
Група В51
INTERSTATE СТАНДАРТ
ГЕРМАНИЙ МОНОКРИСТАЛЕН
Технически условия
Monocrystalline germanium. Specifications
BCR 17 7441
Дата на въвеждане 1981−01−01
ИНФОРМАЦИОННИ ДАННИ
1. РАЗРАБОТЕНА И ВЪВЕДЕНА от Министерството на цветната металургия на СССР
2. ОДОБРЕНИ И ВЪВЕДЕНИ В ДЕЙСТВИЕ на Постановление на Държавния комитет на СССР по стандартите
3. В ЗАМЯНА
4. РЕФЕРЕНТНИТЕ РЕГУЛАТОРНИ И ТЕХНИЧЕСКИ ДОКУМЕНТИ
Наименование NTD, в който дадена връзка | Номер на точка, алинея, приложение |
В 3−88 |
Приложение 8 |
В чл. 61−75 |
Приложение 8 |
В 111−90 |
Приложение 8 |
В 177−88 |
Приложение 8 |
В 427−75 |
Приложение 5 и 8 |
В 577−68 |
Приложение 6 |
В 701−89 |
Приложение 5 |
В 2567−89 |
Приложение 5 |
В 2874−82 |
Приложение 3, 5 и 8 |
В 2991−85 |
4.4 |
В 3282−74 |
4.6 |
В 3560−73 |
4.6 |
В 4160−74 |
Приложение 5 и 8 |
В 4461−77 |
Приложение 5 |
В 5959−80 |
4.4 |
В 5962−67 |
Приложение 8 |
В 6507−90 |
Приложение 6 |
В 6816−79 |
Приложение 5 |
В 7376−89 |
4.4 |
В 8032−84 |
1.4 |
В 9078−84 |
4.6 |
В 9206−80 |
Приложение 3, 5 и 8 |
В 9293−74 |
Приложение 1, 6 |
В 9412−93 |
Приложение 5 |
В 9696−82 |
Приложение 2 и 6 |
В 10197−70 |
3.4, Приложение 2 |
В 10354−82 |
4.1 |
В 10484−78 |
Приложение 5 и 8 |
В 11109−90 |
Приложение 5 |
В 11125−84 |
Приложение 5, 8 |
В 12026−76 |
Приложение 5 и 8 |
В 12027−93 |
Приложение 2 |
В 12162−77 |
Приложение 1 |
В 12923−82 |
4.4 |
В 14192−96 |
4.5 |
В 20477−86 |
4.2 |
В 24392−80 |
3.4 |
В 24597−81 |
4.6 |
В 26327−84 |
Приложение 3, 5 и 8 |
В 29329−92 |
Приложение 5 и 8 |
ТУ 25−05.2420−79 |
Приложение 2 |
ТУ 6−09−3401−75 |
Приложение 3 |
ТУ 6−02−570−75 |
Приложение 3 |
ТУ 13−7308001−758−88 |
Приложение 2 |
ТУ 6−09−3590−78 |
Приложение 8 |
5. Ограничение на срока на валидност, заснети по протокол N 3−93 Магистралата на Съвета по стандартизация, метрология и сертификация (ИУС 5−6-93)
6. ИЗДАНИЕ с Промените, N 1, 2, 3, 4, утвърдени през декември 1984 г., май 1988 г., юли 1990 г., февруари 1993 г. (ИУС 4−85, 8−88, 10−90, 9−93)
Този стандарт се отнася за монокристален бар германия, използвани за производство на полупроводникови устройства и определя изисквания към монокристаллическому германия, изготовляемому за нуждите на народното стопанство.
1. ТЕХНИЧЕСКИ ИЗИСКВАНИЯ
1.1. Монокристален бар германия произведени в съответствие с изискванията на настоящия стандарт на електронното тип проводимост, легирана сурьмой, и дырочного тип проводимост, легирана галлием, технологична документация, одобрени по установения ред.
1.2. Кристаллографическая ориентация на монокристални блок (III).
1.3. Гранично отклонение на самолета торцового нарязания на монокристални кюлчета германия от самолета ориентация (III) не трябва да надвишава 2°.
Поносите, Изъм. N 1).
1.4. Монокристален бар германия на допускаемому относительному отклонение стойности на дела електрическо съпротивление торцов от номиналната стойност трябва да съответства на подгруппам, посочени в таблица.1.
Таблица 1
Подклас по допускаемому относительному отклонение стойности на дела електрическо съпротивление торцов от номиналната стойност на |
+ / Относителното отклонение на стойностите на дела електрическо съпротивление торцов от номиналната стойност, %, не повече от |
Интервал на номиналните стойности на дела електрическо съпротивление, Ома·см |
±25 |
0,1−45 | |
б | ±20 |
|
г |
±15 |
Избор на номиналната стойност на дела електрическо съпротивление на монокристални блок се извършва в съответствие с
— за дела електрическо съпротивление от 0,1 до 1 Ом·см — 0,1; 0,12; 0,15; 0,2; 0,25; 0,31; 0,4; 0,5; 0,63; 0,8; 1 Ома·см;
— за дела електрическо съпротивление от 1 до 10 Ома·см — 1,1; 1,40; 1,8; 2,2; 2,8; 3,5; 4,5; 5,6; 7,1; 9 Ома·см;
— за дела електрическо съпротивление от 10 до 45 Ома·см — 11,2; 14; 18; 22,4; 28; 35,5; 45 Ома·виж
Поносите, Изъм. N 1).
1.5. Плътност размествания и геометрични размери монокристаллических кюлчета германия трябва да отговарят на изискванията по чл.2.
Таблица 2
Подклас плътността размествания |
Плътност размествания, в см, не по — |
Интервал от стойности диаметри монокристалллического кюлчета, мм | Дължина монокристалллического кюлчета, мм, не по-малко |
1 | 5·10 |
30−40 | 60 |
2 | 2·10-2·10 |
||
3 | 8·10 |
По искане на потребителите монокристаллические кюлчета германия ETS 9 г1 се приготвя с диаметър от 40 до 50 мм.
Монокристаллические кюлчета германия 1 подклас на плътността на размествания и с плътност на размествания 1·10-2·10смпод 2 по плътност размествания изготовляли
Поносите, Изъм. N 1, 2).
1.6. Разликата между най-голямото и най-малките диаметри на всеки монокристални блок не трябва да бъде повече от 4 mm.
1.7. В монокристаллических кюлчета германия подгрупи 2 и 3, трябва да липсва от общата дължина малоугловых граници с дължина над средния диаметър на монокристаллических кюлчета.
1.8. Подвижността на основните носители на заряд в монокристаллических кюлчета германия в зависимост от дела на електрически повърхността и типа на проводимост трябва да отговарят на нормите, посочени в таблица.3.
Таблица 3
Интервал от стойности на дела електрическо съпротивление | Подвижността на основните превозвачи такса | |
електроните |
дупки | |
От 0,1 до 0,23 вкл. |
1800 | 1300 |
Св. 0,24 «0,49 « | 2300 |
1400 |
«0,50» 0,89 « | 2600 |
1500 |
«0,9» 2,4 « | 3100 |
1600 |
«2,5» 5,9 « | 3300 |
1760 |
«6.0» на 15,9 « | 3400 |
1760 |
«16,0» 45,0 « | 3600 |
1760 |
Поносите, Изъм. (2).
1.9. Монокристален бар германия не трябва да има външни дефекти: плочки с размери над 3 мм, пукнатини и мивки, както и вътрешни мивки и пукнатини, открива при рязане на монокристални блок.
1.10. Монокристалличность германия, кристаллографическая ориентация на надлъжната ос на монокристални кюлчета, гранично отклонение на самолета нарязания на монокристални кюлчета от самолета ориентация (III), подвижността на основните носители на заряд, плътност размествания за подклас 1 и липса на вътрешни мивки и пукнатини са снабдени с технологията на производство.
Поносите, Изъм. (2).
1.11. Кодове на BCR са изброени в приложение 7.
(Въведени допълнително, Изъм. N 1).
1.12. Монокристаллические кюлчета германия, легирана галлием, кристаллографической ориентация и (100) са произведени с диаметър не по-малко от 20 мм, номинална стойност на дела електрическо съпротивление 0,4 и 0,45 Ома·см, с допускаемым относително отклонение на стойностите на дела електрическо съпротивление ±10%, плътност размествания не повече от 10 cm, плътност дефекти недислокационного произход не повече от 10 см, дължина на монокристални блок 50−120 mm.
Норма плътност дефекти недислокационного произход и горната дължина на монокристални блок
(Въведени допълнително, Изъм. N 3).
Примери за условно означаване на
Монокристален бар германия електронното тип проводимост, с номинална стойност на дела електрическо съпротивление 14, подгрупи б и 3:
ETS 14б3 В 16153−80
Същото, дырочного тип проводимост, с номинална стойност на дела електрическо съпротивление 45, подгрупи и 1:
ГД 451
2. ПРАВИЛА ЗА ПРИЕМАНЕ
2.1. Монокристален германий приемат на партиди. Партията трябва да се състои от един монокристални блок. Приемосдаточным изпитване са подложени на монокристален блок, като: тип на проводимост; стойността на дела електрическо съпротивление; плътност размествания; наличието и общата дължина малоугловых граници за подгрупи 2,3; геометрични размери и липса на външни дефекти; за германия с кристаллографической ориентация (100) — плътност на дефекти недислокационного произход.
Определянето на плътността на дефектите недислокационного произход се извършва за набиране на статистически данни.
Периодични тестове за гарантирани параметри (vp 1.10) е изложен един монокристален блок, не по-рядко от един път на тримесечие.
Поносите, Изъм. (2).
2.2. Всеки монокристален бар германия придружени от документ за качество, който трябва да съдържа:
— търговската марка или името и търговската марка на предприятието-производител;
— наименование на продукта и неговата марка;
— номер на монокристални на кюлчета;
— тип проводимост;
— стойността на електрическото съпротивление на съпротива и го отклоняват от избрания номинална стойност;
— стойността на средната плътност размествания на горния и долния края на монокристални блок за подгрупа 2 и в долния край на монокристални блок за подгрупа 3;
— дължина и диаметър на монокристални блок в милиметри;
— маса нето в грамове;
— дата на производство;
— печат на технически контрол;
— обозначение на настоящия стандарт;
— печат на органа на държавна приемане (за предприятията, в които е въведена госприемка).
Поносите, Изъм. N 1, 2).
3. МЕТОДИ ЗА КОНТРОЛ
3.1. Проверка германия на монокристалличность се извършва визуално, без използване на увеличительных уреди и без допълнителна обработка монокристаллических кюлчета.
Поносите, Изъм. N 1).
3.2. Тип на проводимост на германия определят за всяка от торцов монокристални блок по методика, дадена в приложение 1.
3.3. Кристаллографическую ориентация монокристаллических кюлчета и отклонение на самолета торцевого парче от самолет ориентация (III) да се определят по методи, посочени в приложения 2 и 3.
В случай на различия в оценката на качеството на определяне се извършва на рентгеновата техника (приложение 2).
3.4. Притискане на електрическо съпротивление на монокристални блок измерват в 24392 в двата края, в точки, разположени една в централна и четири в периферната област торцов в съответствие с изготвянето. Местоположение сонди, перпендикулярна на «кюлчета.
Относителното отклонение на стойностите на дела електрическо съпротивление торцов от номиналната стойност на дела електрическо съпротивление се изчислява по формулата
,
къде — относителното отклонение на стойностите на дела електрическо съпротивление от номиналната стойност;
, — за максималните и минималните стойности на дела електрическо съпротивление от резултатите от измерванията в пет точки;
— номинална стойност на дела електрическо съпротивление.
Поносите, Изъм. (2).
3.5. Плътност размествания на самолет (III) и общата дължина малоугловых граници определят в долния край на монокристални кюлчета германия по методика, дадена в приложение 5.
За подгрупа 2 стойността на средната плътност размествания определят на горния и долния края на монокристални блок.
Поносите, Изъм. N 1, 4).
3.6. Диаметърът се измерва в двата края и в средата на монокристални блок с грешка не по-голяма от 0,5 mm, а дължината — с грешка не повече от 1 мм правно-технически инструмент, осигуряващ плавна точността на измерване.
3.6.1. За диаметър на некруглых на напречното сечение на монокристаллических кюлчета приемат среднеарифметическое измерване на минималния и максималния габаритных размери, минаваща през центъра на напречното сечение на монокристални блок, перпендикулярна на оста на неговия растеж.
3.7. Маса на монокристални блок определят взвешиванием на везни с грешка не по — ±1 г.
3.8. Подвижността на основните такса превозвачи определят в две проби, отрезанных от долния и горния торцов монокристални кюлчета, по методика, дадена в приложение 6.
3.8 а. Плътност размествания на самолет (100) в кюлчета монокристални германия определят по методика, дадена в приложение 8.
(Въведени допълнително, Изъм. № 4).
3.9. Проверка на монокристаллических кюлчета злато в липсата на външни дефекти се извършва без прилагане на увеличительных уреди, не чрез прилагане на допълнителна обработка монокристаллических кюлчета.
4. ОПАКОВКА, МАРКИРОВКА, ТРАНСПОРТИРОВАНИЕ И СЪХРАНЕНИЕ
4.1. Всеки монокристален бар германия се поставя в пакет от полиетиленово фолио, печат на УПРАВИТЕЛНИЯ 10354. В пакет с монокристаллическим слитком инвестират документ за качество.
4.2. Найлонова торбичка, произведена или залепени ленти с лепкав слой И 20477 или подобен и опаковани в картонена или пластмасова кутия с мека подплата. Място на свързване на капака с кутия, залепени с пластмасова лента с лепкав слой И 20477 или подобна или покрива с предавателна вързан посочената лента внахлестку.
Поносите, Изъм. N 1).
4.3. Върху кутията наклеивают етикет с посочване на:
— търговска марка или наименование и търговска марка на предприятието-производител;
— наименование на продукта;
— номера на документа за качеството;
— маса нето в грамове;
— дата на производство;
— обозначаване на настоящия стандарт.
4.4. Картонени или пластмасови кутии, опаковани в дървени други кутии тип III-1 И 2991 или кутии от листни дървесни материали тип III И 5959 и уплътнена подложка еластична полиуретанова пяна, алигнина в 12923 или велпапе И 7376.
Тегло на опаковката на място трябва да бъде не повече от 50 кг.
Във всяка кутия трябва да бъде вложен опаковъчен лист с посочване на:
— търговска марка или наименование и търговска марка на предприятието-производител;
— наименование на продукта;
— маса нето в килограми;
— броя на монокристаллических кюлчета в кутия;
— датата на опаковане;
— имената и номерата на опаковчик.
4.3, 4.4. Поносите, Изъм. N 1, 2).
4.5. Маркиране кутии — в 14192 с прилагането на манипуляционных знаци:
«Деликатен, леко»;
«Да се пази от влага».
4.6. Монокристален германий превоз с железопътен транспорт в закрити вагони малки отправками в съответствие с правилата за транспорт на товари, действащи в областта на транспорта от този вид.
При превоза на две и повече единици за опаковане на продуктите се извършва пакетирование товари на самолет универсални тави И 9078 с помощта на стоманена лента в 3560 или тел в 3282 с диаметър, не по-малко от 5 мм.
Размери и тегло на пакета не трябва да надвишава нормите, установени В чл. 24597.
Допуска транспортирование монокристални германия автомобилен и ер транспорт в съответствие с правилата за транспорт на товари, действащи в областта на транспорта от този вид.
Допуска транспортирование отделни пощенски пакети. Тегло бруто кутия на пратката не трябва да надвишава 10 кг.
Поносите, Изъм. N 1).
4.7. Монокристаллические кюлчета германия трябва да се съхранява в опаковката на производителя, в закрити складови помещения.
5. ГАРАНЦИЯТА НА ПРОИЗВОДИТЕЛЯ
5.1. Производител гарантира съответствие на монокристаллических кюлчета германия изискванията на настоящата наредба и при спазване на условията им за съхранение.
5.2. Срокът за подмяна на материал се определя от 1 година от датата на изпращането на продуктите.
Поносите, Изъм. (2).
ПРИЛОЖЕНИЕ 1 (обвързваща). ОПРЕДЕЛЯНЕТО НА ТИПА НА ПРОВОДИМОСТ
ПРИЛОЖЕНИЕ 1
Задължително
Тип на проводимост определят по която и предната повърхност на монокристални блок метод термозонда (термоэлектродвижущей сила) или по метода на точка за контакт на изправяне.
Метод термозонда (студен или горещ) препоръчва се за и -вида на германия, притискане на електрическо съпротивление който при стайна температура по-малко от 40 Ома·виж
Тип на проводимост на германия с относително електрическо съпротивление над 40 Ома·см определят чрез студено термозонда.
Метод точка за контакт на изправяне се препоръчва за проби — и -вида на германия с относително електрическо съпротивление над 1 Ω·виж
Основният метод за определяне на типа проводимост — метод за определяне на знака на коефициента на Хол (виж приложение 6).
В сравнение с основния метод препоръчани имат по-голяма локальностью и могат да бъдат използвани за идентифициране на областите с различни вида проводимост в рамките на един монокристални блок. За материали с электропроводностью, близо до себе си, се препоръчва използването на основен метод за определяне на вида проводимост в знак на коефициента на Хол.
1. Определянето на типа на проводимост метод термозонда
1.1. Същност на метода
Метод е да се определи полярността на термоЭДС, възникнали между топъл и по-студени области на полупроводниковите с помощта на чувствителни нула-индикатор.
1 — сонда; 2 — модел; 3 — нула-индикатор; 4 — метална плоча
По дяволите.1
Градиент на температурата е създаден локално отопление (охлаждане) монокристални блок в резултат клип на топъл (охладено) сонда.
1.2. Апаратура
Схема за определяне на типа на проводимост горещ метод () и студен термозонда (б) е предоставил на по дяволите.1.
Сондата, произведен от всяко токопроводящего материал, препоръчва се използването на материали, не са податливи на корозия при нагряване или работа във влажна среда (например никел). Вторият контакт служи метална плоча от мед, олово или алуминий.
Показател — гальванометр с чувствителност не по-малко от 4·10А/задачи, като например тип на «М-195/2 или М-195/3. Допуска прилагането на други дисплей устройства с чувствителност не по-ниска от указаната.
Хладоагент — течен азот в 9293 или въглероден диоксид солидна техническа И 12162.
Сондата се загрява всеки нагревателен уред; температурата на гореща сонда контролират по расплавлению сплав на Ууд (температурата на топене на 60,5 °С).
Поносите, Изъм. (2).
1.3. Подготовка за измерване на
При наличие на повърхността на монокристални блок, видими с невъоръжено око следи от окисляване, побежалостей с повърхността на монокристални блок се отстранява окисную филм (офорт, шлифовкой и т.н.); монокристаллические кюлчета измиват деионизованной вода и суха филтърна хартия. Допуска се измерване на повърхността, получена в резултат на рязане на твърд инструмент или обработка на абразивни материали.
1.4. Извършване на измервания
1.4.1. Натискането на нагряване (охлаждане) сондата до повърхността на монокристални кюлчета, включени в измерительную схема начин, показани на по дяволите.1, постигането на отклонение на стрелката на нула-индикатор.
1.4.2. Тип на проводимост определят в съответствие с означение по дяволите.1 при отклонение на стрелката на нула-показател, по-голям от 30% от пълната скала на уреда. За изпълнение на определени изисквания се допуска увеличаване на разликата в температурата между сондата и монокристаллическим слитком.
2. Определянето на типа на проводимост метод точка за контакт на изправяне
2.1. Същност на метода
Выпрямляющие свойства на контакт метал-полупроводниково се определят от вида на основните носители на заряд в полупроводници. Методът се основава на качествено сравнение на съпротива точка за контакт при различни полярностях приложна напрежение. Тип на проводимост определят с отклонение на стрелката на чувствителни на виновните нула на индикатора или по вид вольтамперной характеристиките, получени на осцилоскоп.
1 — точков контакт (сонда); 2 — монокристален блок; 3 — омический контакт; 4 — автотрансформатор;
5 — нула-индикатор; 6 — tap за хоризонтални пластинам oscillo; 7 — tap към вертикални
пластинам oscillo; 8 — регулировочное съпротива
По дяволите.2
2.2. Апаратура
Схема за определяне на типа на проводимост метод точка за контакт на изправяне с прилагането на нула-индикатор () и oscillo (б) е предоставил на по дяволите.2.
-вид на
-вид на
По дяволите.3
В зависимост от дела електрическо съпротивление на проба и чувствителност oscillo стойност на съпротивлението () може да бъде различна, но трябва да осигури пълна сканира oscillo по вертикалната ос.
Сондата, изработени от вольфрамовой или стоманена тел. Вторият контакт служи метална плоча от мед, олово или алуминий. Омический свържете се да нанесете върху повърхността на пробата за контакт сплав. Например, с помощта на алюмогаллиевого молив или индий-галлиевой паста.
Индикаторные устройство — гальванометры с чувствителност 4·10А/задачи, като например тип на «М-196/2 или М-195/3; осцилоскопи, подходящ за наблюдение вольтамперных характеристики, тип C1−5, C1−19, C1−48 или подобни на тях.
2.3. Подготовка за измерване на
При наличие на повърхността на монокристални блок, видими с невъоръжено око следи от окисляване, побежалостей с повърхността на монокристални блок се отстранява окисную филм (офорт, шлифовкой и т.н.); монокристаллические кюлчета измиват деионизованной вода и суха филтърна хартия. Допуска се измерване на повърхността, получена в резултат на рязане на твърд инструмент или обработка на абразивни материали.
2.4. Извършване на измервания
2.4.1. При измерения монокристален блок включват в измерительную схема начин, показани на по дяволите.2.
2.4.2. Прижимом измерване на сонда до повърхността на монокристални блок опитват отклонение на стрелката на нула-показател или появата на осцилоскоп вольтамперной характеристики на вида, показан на по дяволите.3, което показва наличието на верига выпрямляющего контакт.
Отклонение на стрелката на нула-индикатор трябва да бъде повече от 30% от пълната скала на уреда.
Тип на проводимост се определя в съответствие с черти.2 и 3.
Техника не въвежда количествени характеристики. Характерен огъване на криви (виж по дяволите.3) не трябва да се разглежда от количествена гледна точка.
2.4.3. При използването на метода на точка за контакт на изправяне с прилагането на oscillo не може да се определи тип на проводимост на изображението характеристики на изправяне, ако е характеристика не е огъване или извита два пъти.
Подобни ефекти се дължат на наличието на реализации в материала.
3. Изисквания за квалификация на оператора
3.1. Квалификация на оператора трябва да отговаря на изискванията на зададено измерване на електрически параметри на полупроводникови материали на трета или по-високо освобождаване от отговорност в съответствие с действащите тарифно-квалификационными разрядами.
4. Изисквания за безопасност
4.1. Устройството и техническата експлоатация на използвания электроизмерительного оборудване трябва да отговарят на изискванията на «Правилник за техническа експлоатация на електрически режим потребители* правила на техника на безопасност при експлоатация на електроинсталации на потребителите*", одобрени Госэлектронадзором.
_______________
* На територията На Руската Федерация действат «Правила за техническа експлоатация на електроинсталации на потребителите», одобрена от министерството на Енергетиката на Русия от 13.01.2003, N 6, тук и по-нататък по текста;
** На територията На Руската Федерация действат «Междусекторно Правила за защита на труда (правила за безопасност при експлоатация на електроинсталации» (ПОТ Р М-016−2001 Г., РД 153−34.0−03.150−00), тук и по-нататък по текста. — Забележка на производителя на базата данни.
По силата на электробезопасности на електрически инсталации, използвани за измерване тип проводимост, се отнасят до электроустановкам напрежение до 1000 V.